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    • 专利摘要:
    一種有機發光二極體顯示器包含一基板、位於基板上之一有機發光二極體、配置以於具有一第一直徑之一有機薄膜沉積區域中覆蓋位於基板上之有機發光二極體的一有機薄膜、以及配置以於具有一第二直徑之一無機薄膜沉積區域中覆蓋位於基板上之有機薄膜的一無機薄膜，其中以微米為單位之L1為有機薄膜沉積區域之第一直徑，以微米為單位之L2為無機薄膜沉積區域之第二直徑，以微米為單位之D為有機薄膜之一厚度，且(L2－L1)≧2(171D＋150微米)。
    公开号:TW201306247A
    申请号:TW101115457
    申请日:2012-05-01
    公开日:2013-02-01
    发明作者:Jae-Ho Lee
    申请人:Samsung Display Co Ltd；
    IPC主号:H01L51-00
    专利说明:
    有機發光二極體顯示器及其製造方法
    所述技術係通常關於一種有機發光二極體顯示器及其製造方法。
    有機發光二極體(OLED)顯示器包含電洞注入電極、電子注入電極、以及形成於其間之有機發光層，其在電洞從陽極注入以及電子從陰極注入而結合並消逝於有機發光層時發光。有機發光二極體顯示器具有許多高品質特性，如低功率消耗、高亮度、高反應速度等，有機發光二極體顯示器在作為用於可攜式電子設備之下一代顯示裝置正受到許多注目。
    有機發光二極體顯示器包含一有機發光顯示面板，其包含薄膜電晶體及有機發光二極體形成於其上之基板。有機發光二極體包含陽極、陰極以及有機發光層。電洞及電子係分別從陽極及陰極注入以形成激子，其轉換至基態，因此導致有機發光二極體發光。
    有機發光二極體以一有機材料形成，當暴露於潮濕或氧氣時，其可能有退化的現象，因此，封裝技術使用於有機發光顯示面板中，以減少或預防由於潮濕或氧氣造成之退化。
    藉由薄膜封裝技術，一或多個無機層以及有機層交替地沉積於形成於基板之顯示區域之有機發光二極體上，從而以薄膜封裝層覆蓋顯示區域。如果基板以可撓性薄膜形成，連同有機發光二極體顯示器具有這樣的薄膜封裝層，其能更容易地彎曲，且有利於形成超薄結構。
    然而，當沉積有機薄膜於有機發光二極體形成於其上之基板上時，液態單體可沉積於基板上，且能藉由使用電子束或紫外線(UV)而固化。在此情況中，有機薄膜係以液態沉積，所以散佈超過藉由遮罩所設置之沉積區域則可能發生於有機薄膜之末端，亦即，有機薄膜之一側邊區域。當無機薄膜不考慮由於散佈現象所產生之部分而形成，有機薄膜之末端部分不完全地被無機薄膜密封，反而露出。在此情況中，有機薄膜允許外部潮濕及氧氣之潮濕滲入路徑，以衰退有機發光二極體顯示器之表現，且稱為暗點之非顯示瑕疵可能會發生。當無機薄膜之沉積區域延長超過所需以預防上文提到之問題時，顯示裝置之死角會增加。
    上述於此先前技術章節揭露之資訊，只為加強所述發明所屬之技術領域之理解，因此其可能包含未形成於已為本國所屬領域具有通常知識者所熟知之先前技術的資訊。
    本發明之實施例提供一種有機發光二極體顯示器，其藉由運用其中堆疊有機薄膜及無機薄膜之薄膜封裝層而預防外部潮濕及氧氣滲入、以及其製造方法。
    本發明之實施例提供一種有機發光二極體顯示器，其藉由檢查由有機薄膜之厚度所產生之無機薄膜之沉積區域以及避免無機薄膜之過量沉積，而減少或最小化一顯示裝置之一死區、以及其製造方法。
    本發明之實施例提供一種有機發光二極體顯示器及其製造方法，以減少或最小化黑點以及改進一封裝壽命。
    本發明之一例示性實施例提供一種有機發光二極體顯示器，其包含一基板、位於基板上之一有機發光二極體、配置以於具有一第一直徑之一有機薄膜沉積區域中覆蓋位於基板上之有機發光二極體的一有機薄膜、以及配置以於具有一第二直徑之一無機薄膜沉積區域中覆蓋位於基板上之有機薄膜的一無機薄膜，其中以微米為單位之L1為有機薄膜沉積區域之第一直徑，以微米為單位之L2為無機薄膜沉積區域之第二直徑，以微米為單位之D為有機薄膜之一厚度，且(L2－L1)≧2(171D＋150微米)。
    (L2－L1)可廣泛地介於200微米至6000微米之間。
    本發明另一實施例提供一種用於製造有機發光二極體顯示器之方法，方法包含：形成一有機發光二極體於一基板之一側邊上、形成一有機薄膜以於一有機薄膜沉積區域中覆蓋基板之側邊上的有機發光二極體、以及形成一無機薄膜以於一無機薄膜沉積區域中覆蓋基板上之有機薄膜，其中以微米為單位之L1為有機薄膜沉積區域之一直徑，以微米為單位之L2為無機薄膜沉積區域之一直徑，以微米為單位之D為有機薄膜之一厚度，且(L2－L1)≧2(171D＋150微米)。
    (L2－L1)可廣泛地介於200微米至6000微米之間。
    形成有機薄膜可包含定位一第一遮罩，其具有對應於有機發光二極體之一第一開口；以及透過第一開口沉積有機薄膜的一材料，其中形成無機薄膜包含定位一第二遮罩，其具有對應於有機薄膜形成於基板上之有機薄膜沉積區域的一第二開口；以及透過第二開口沉積無機薄膜之一材料，其中第一開口具有一台階，其面對基板之第一遮罩之一背側上的一直徑大於相反於背側之第一遮罩之一表側上的一直徑，其中以微米為單位之L1’為位於第一遮罩之表側上之第一開口的直徑，其中以微米為單位之L2’為第二開口之一直徑，其中以微米為單位之A為台階之一高度，且其中(L2’－L1’)≧2(1.5214×10-3A＋210微米)。
    (L2‘－L1’)可廣泛地介於200微米至6000微米之間。
    根據本發明之例示性實施例，無機薄膜堆疊於有機薄膜上，其密封有機薄膜以有效地控制外部潮溼及氧氣之滲入且減少或預防因而發生於有機發光二極體顯示器之損害，並改善有機發光二極體之封裝壽命。
    進一步地，根據例示性實施例，由有機薄膜之厚度所產生之無機薄膜之沉積區域被檢查，以預防無機薄膜之非期望的沉積，因此增加生產效率及減少或最小化顯示裝置之死區。
    根據本發明之實施例之有機發光二極體顯示器及其製造方法將參考附圖而說明。然而，本發明不設限在此所揭露的例示性實施例，且可以許多不同方式實行。在此例示性實施例僅為達成揭露及充分地提供本發明之實施例的解釋於本領域具有通常知識者。相似的參考符號表示相似的元件。
    在圖式中，層、薄膜、面板、區域等之厚度係為了清楚而誇大。在圖示中，為了解及容易描述，一些層及區域之厚度係誇大。當一元件如層、薄膜、區域或基板被提及於另一元件上，其將了解的是其能直接地位於另一元件上，或一或多個中介元件可存在。
    此外，除非明確地描述反義，詞彙“包含(comprise)”及其變化，諸如“包含(comprises)”或“包含(comprising)”將了解係為表示所述元件之涵蓋，但不排除任何其他元件。此外，全說明書中，“上(on)”說明位於一目標元件之上或之下，且不必然代表位於相對於重力方向之頂部上。
    第1圖及第2圖顯示對應於根據本發明之例示性實施例之製造有機發光二極體顯示器之方法的橫切面圖，而第3圖顯示藉由測定有機薄膜之末端或邊緣區域的有機薄膜的厚度(或高度)所產生之圖式。
    參考第1圖及第2圖，有機發光二極體顯示器包含一基板10，且包含用於封裝形成於基板10上之有機發光二極體20的一有機薄膜30及一無機薄膜40。
    根據本實施例，基板10包含玻璃、聚合物及金屬之至少其一，且由一透光、反光或吸光的材料所製成。基板10為可撓性的。一線路(未顯示)及有機發光二極體20係提供於基板10上。線路傳送訊號於有機發光二極體20以驅動有機發光二極體20。有機發光二極體20根據由線路傳送之訊號而發光。
    雖然未顯示於第1圖及第2圖，有機發光二極體20包含一陽極電極、一有機發光層以及一陰極電極，其中有機發光層更包含傳送電洞或電子之載子至一發光層之有機層、及用來發光之發光層。舉例來說，有機層可為提供於介於陽極及發光層間之一電洞注入層(HIL)及一電洞傳輸層(HTL)、以及可為提供於介於陰極及發光層間之一電子注入層(EIL)及一電子傳輸層(ETL)。
    當一電壓(如一預定電壓)施加於陽極及陰極時，藉由陽極注入之電洞係藉由穿越配置在發光層之電洞傳輸層而移動至發光層，且藉由陰極電極注入之電子係藉由穿越電子傳輸層而注入於發光層。在此情況中，電子及電洞係結合於發光層中以產生激子，且激子從激態轉換為基態，以使發光層之螢光分子發光以形成影像。有機發光二極體20係提供於基板10上，且自線路接收訊號，並根據訊號顯示影像。像素代表顯示影像之最小單位，且有機發光二極體顯示器藉由使用複數個像素而顯示影像。
    當與潮濕或氧氣反應時，有機發光二極體20之表現會退化。如此，為減少或預防退化，作為一薄膜封裝層用以屏蔽及保護有機發光二極體20遠離外部因素之有機薄膜30及無機薄膜40係依序地堆疊於有機發光二極體20上。
    有機薄膜30代表用以藉由屏蔽或防護有機發光二極體20遠離外部(如外部條件)而預防潮濕及氧氣滲入之薄膜，例如，有機薄膜30能由一有機材料所製成，如環氧樹脂或壓克力樹脂，且有機材料可具一熱硬化或紫外線硬化性質。有機薄膜30係以液態沈積於有機發光二極體20上，以在其上實質上平坦化或平滑化，因此於有機薄膜30之末端，亦即，有機薄膜30之邊緣區域(參考第1圖至第3圖)能發生流出遮罩所設置之預定沉積區域之散佈現象。亦即，如第3圖所示，當考慮有機薄膜30於寬度方向(即第3圖之x軸方向)在有機薄膜30之末端或側邊區域之沉積高度時，高度於其中沉積區域停止之部分為不連續地改變，且產生有機薄膜30的高度急遽地下降的部分或區域，此部分或區域稱為尾端31(見第1圖及第2圖)。根據本實施例，尾端31定義為側邊部分，其中高度h2實質上低於有機薄膜30之沉積區域之平均高度h1的5%。尾端31之長度M可對應有機薄膜30之沉積厚度D而改變，且藉由實驗結果所檢查之有機薄膜30之厚度D所產生之尾端31之長度M係表示於表1。 表1
     
    有機薄膜厚度D及尾端長度M具滿足方程式1(如下)之關係，其近似表1之實驗結果，且於第4圖繪示。在此，變數M及D之單位為微米。方程式1M＝171D＋138.14微米(M：尾端31之長度，D：有機薄膜30之厚度，參考第1圖及第2圖)
    有機薄膜30有效地緩和有機發光二極體顯示器之壓力。然而，有機薄膜30可為外部潮濕或氧氣之一潮濕滲入路徑。於是，有機薄膜30係以無機薄膜40所覆蓋。無機薄膜40塗佈於有機薄膜30上，以屏蔽有機薄膜30遠離外部，且無機薄膜40能藉由選擇一材料或具有精製玻璃粒子之金屬、及無機材料如氧化物、氮化物、或陶瓷而使用。
    無機薄膜40之沉積區域係形成以大於有機薄膜30之沉積區域，且無機薄膜40圍繞於有機薄膜30之側邊(如周圍)，以密封有機薄膜30。無機薄膜40被預期形成具考量尾端31之大小以超過有機薄膜30之沉積區域。因此，考量無機薄膜40覆蓋尾端31之形成區域，根據本實施例，對應有機薄膜30之尾端31之長度M及厚度D，無機薄膜40之沉積區域之直徑L2係以一定量較長於有機薄膜30之沉積區域的直徑L1，其可寫為方程式2，參考第2圖。在此，N代表覆蓋有機薄膜30之尾端31之無機薄膜40的長度。方程式2L2≧L1＋2N, N＝171D＋150微米(L2－L1)≧2(171D＋150微米)
    當無機薄膜40係以對應方程式2之關係形成時，當尾端31因為液態有機薄膜30之沉積而產生，無機薄膜40能覆蓋有機薄膜30。亦即，在沉積的有機薄膜30之厚度D檢查後，係設置對應之無機薄膜40之沉積區域之範圍，以允許無機薄膜40覆蓋有機薄膜30，且阻擋或屏蔽有機薄膜30遠離外部。因此，有機發光二極體顯示器能有效地減少或控制外部的潮濕或氧氣之滲入。
    進一步地，根據透過實驗所達成之結果，無機薄膜沉積區域之直徑L2及有機薄膜沉積區域之直徑L1之差(L2－L1)期望為介於200微米及6000微米之間。當沉積區域之直徑差(L2－L1)小於200微米時，藉由無機薄膜40密封有機薄膜30之效果會減少，而當直徑差(L2－L1)大於6000微米時，被沉積之無機薄膜40多於所需，因此減少生產效率。
    上述有機薄膜30及無機薄膜40之堆疊配置應用於其中有機薄膜30及無機薄膜40以相同的方式重複地堆疊數次之實施例中。
    參考第1圖及第2圖，根據本發明之一例示性實施例之製造有機發光二極體顯示器之方法現將描述。
    製造有機發光二極體顯示器之方法包含：形成一有機發光二極體20於基板10之一側邊上；形成一有機薄膜30於有機發光二極體20形成於其上之基板10上，以覆蓋有機發光二極體20；以及形成一無機薄膜40於基板10上以覆蓋有機薄膜30。
    有機發光二極體20形成於基板10之一邊上，其對應如上敘述，且將不再敘述。
    有機薄膜30形成於基板10上，以覆蓋有機發光二極體20。當有機薄膜30形成時，可使用其中設置沉積區域之遮罩(如一預定遮罩)，包含對應於有機發光二極體20之大小及形狀之第一開口51的第一遮罩50係位於基板10上或附近，以覆蓋有機發光二極體20，且來自沈積源(未顯示)之將沉積之有機薄膜30之一材料係透過第一開口51沉積於有機發光二極體20上。有機薄膜30之材料沉積於有機發光二極體20上，其具有一厚度D(如一預定厚度)，以形成覆蓋有機發光二極體20之邊緣的有機薄膜30。有機薄膜30之厚度D對應有機發光二極體20之材料、有機薄膜30之材料以及相關的製程。
    有機薄膜30係以液態沈積於有機發光二極體20上，以流暢地使其平坦化或平滑化，且尾端31係由於有機薄膜30之邊緣的散佈現象而產生，如第1圖所示。尾端(如尾端31之長度M)與有機薄膜30之厚度D具有上述方程式1之關係。沉積的有機薄膜30由固化樹脂所製成，其藉由熱或紫外光(如具波長為200至400奈米之光)之應用而硬化，且固化樹脂藉由熱或紫外線而硬化。因此，當製程中應用熱時，一化學反應發生，且一交聯作為化學反應之結果而發生，使有機薄膜30實質地不溶解且硬化。
    當有機薄膜30形成時，用以覆蓋有機薄膜30之無機薄膜40係形成於有機薄膜30上。當無機薄膜40形成時，其中設置沉積區域之一遮罩能以形成有機薄膜30之相同的方法而使用，包含對應於有機薄膜30之形狀及大小之第二開口61的一第二遮罩60位於基板10上或附近，以便覆蓋有機薄膜30，且來自一沈積源之將被沉積之無機薄膜40的一材料係透過第二開口61沉積於有機薄膜30上。無機薄膜40之材料以一預定厚度沉積於有機薄膜30上，以形成覆蓋有機薄膜30之側邊的無機薄膜40。
    特別地，無機薄膜40以滿足方程式2之直徑沉積，以便如上述覆蓋尾端31。當無機薄膜40以依照方程式2之關係形成時，在尾端31由於液態有機薄膜30之沉積而產生時，有機薄膜30能被覆蓋。亦即，當沉積的有機薄膜30之厚度D檢查時，有機薄膜30能藉由設置無機薄膜40之沉積區域的範圍而從外部被覆蓋。因此，有機發光二極體顯示器能有效地減少外部潮濕及氧氣之滲入。進一步地，如上述，根據本實施例，無機薄膜沉積區域之直徑L2與有機薄膜沉積區域之直徑L1之差(L2－L1)期望為介於200微米及6000微米之間。
    此外，關於使用以形成有機薄膜30之第一遮罩50，第一開口51能形成為兩階狀，且在此情況中，第一開口51具有包含一台階53之二階配置，其中面對基板10之第一遮罩50之背側(即面對基板10之側邊)的直徑係大於表側(即相反於背側且背對基板10之側邊)之直徑。當第一遮罩50以兩階狀配置時，在有機薄膜30之材料如液體一樣沉積且尾端31因為散佈現象而產生時，位於尾端31之末端之突出及凹陷或其附著粒子的問題能減少或預防。
    根據本實施例，有機薄膜尾端31之長度M為根據兩階段配置中台階53之高度A而變化，且第5圖顯示當有機薄膜30以5000埃之厚度(或高度)D沉積時，有機薄膜尾端31之長度M與第一遮罩50之台階53之高度A間之關係的示意圖。第一遮罩50之台階53之高度A與有機薄膜尾端31之長度M之間的近似關係係透過實驗發現，以於方程式3(變數A及M之單位為微米)表示。方程式3M＝1.5214×10-3A＋171.79微米
    當無機薄膜40係考量尾端31之長度M而形成時，無機薄膜40之沉積區域之直徑L2必定形成以至少為尾端31之長度M而長於有機薄膜30之沉積區域之直徑L1。第二遮罩60之第二開口61係形成，以具有用以能夠覆蓋有機薄膜30之一大小，且對應於有機薄膜30之沉積區域，如此第二遮罩60之第二開口61之直徑L2’對應於無機薄膜40之沉積區域之直徑L2。以相同的方式，第一遮罩50之第一開口51之直徑(表面側邊)L1’對應於有機薄膜30之沉積區域之直徑L1。這些係參考第1圖及第2圖於方程式4表示。方程式4L2’≧L1’＋2N, N＝1.5214×10-3A+210微米(L2’－L1’) ≧2(1.5214×10-3A+210微米)(L1’：第一開口51之表側上之直徑、L2’：第二開口61之直徑、A：台階53之高度、以及N：覆蓋有機薄膜30之尾端31的無機薄膜40之長度，其中變數L1’、L2’、A、N之單位為微米。)
    當無機薄膜40根據方程式4而形成時，當尾端31因為液態有機薄膜30之沉積而產生，有機薄膜30能被覆蓋。實驗範例
    根據本發明之例示性實施例之有機發光二極體顯示器之影響將藉由比較根據比較範例之一有機發光二極體顯示器與根據本發明之例示性實施例之一有機發光二極體顯示器而說明。
    第6圖顯示根據一比較範例所製造之一有機發光二極體顯示器，於高溫及高濕度條件，有機發光二極體顯示器開啟的示意圖，且第7圖顯示根據本發明之一例示性實施例所製造之一有機發光二極體顯示器，於高溫及高濕度條件，有機發光二極體顯示器開啟的示意圖。
    於第6圖中之比較範例，有機薄膜30之厚度D係設為5000埃以沉積，且藉由設置無機薄膜40之沉積區域之直徑L2的長度係以200微米大於有機薄膜30之沉積區域之直徑L1所製造之有機發光二極體顯示器係暴露於一高溫及高濕度條件295小時。當有機薄膜30係設置以具有5000埃之厚度D，且以比較範例之相同方式沉積，尾端31係形成以具有總長度為230微米，且因為於比較範例中無機薄膜40之沉積區域之直徑L2小於有機薄膜30之沉積區域之直徑L1及尾端31之兩端之長度M之總和(即不滿足方程式2)，所以無機薄膜40不能完全地覆蓋尾端31。在此情況中，潮濕及氧氣係滲入至有機發光二極體顯示器之側邊，如此位於側邊上之像素P無法發出清晰光線，與如第6圖所示之位於中間部分之像素P不同。
    在描述於第7圖之本發明的例示性實施例中，有機薄膜30係設置以具有5000埃之厚度D且接著沉積，且藉由設置無機薄膜40之沉積區域之直徑L2的長度以300微米大於有機薄膜30之沉積區域之直徑L1 所製造之有機發光二極體顯示器係暴露於一高溫及高濕度條件800小時。在本例示性實施例中，無機薄膜40之沉積區域之直徑L2大於有機薄膜30的尾端31於兩端之長度M及沉積區域之直徑L1之總和(即滿足方程式2)，所以無機薄膜40能完全地覆蓋有機薄膜30之尾端31。在此情況中，即使有機發光二極體顯示器係以一長時間(如超過500小時)暴露於高溫及高濕度條件，位於邊緣之像素P係以相似於位於中間部分之像素P之方式發出清晰光線，如第7圖所示。
    雖然此揭露已連結目前所考量具有可行性之例示性實施例而說明，其應了解本發明並未設限於所揭露之實施例，且相反地，係旨在涵蓋包含於申請專利範圍及其等效物中各種不同的修改及等效配置。
    10．．．基板
    20．．．有機發光二極體
    30．．．有機薄膜
    31．．．尾端
    40．．．無機薄膜
    50．．．第一遮罩
    51．．．第一開口
    53．．．台階
    60．．．第二遮罩
    61．．．第二開口
    A．．．高度
    D．．．厚度
    M、N．．．長度
    P．．．像素
    L1、L2、L1’、L2’．．．直徑
    h1．．．平均高度
    h2．．．高度
    第1圖及第2圖係為根據本發明之一例示性實施例對應至用以製造有機發光二極體顯示器之方法的橫切面圖。第3圖係為對應於位於有機薄膜之邊緣之區域之有機薄膜的厚度(或高度)之示意圖。第4圖係為指示有機薄膜尾端之長度與有機薄膜之厚度之間的關聯性之示意圖。第5圖係為指示有機薄膜尾端之長度與第一遮罩之一台階之高度之間的關聯性之示意圖。第6圖顯示根據比較範例所製造之開啟的有機發光二極體顯示器於一高溫及高濕度條件中的相片。第7圖顯示根據本發明之例示性實施例所製造之開啟的有機發光二極體顯示器於一高溫及高濕度條件中的相片。
    10．．．基板
    20．．．有機發光二極體
    30．．．有機薄膜
    31．．．尾端
    40．．．無機薄膜
    50．．．第一遮罩
    60．．．第二遮罩
    61．．．第二開口
    N、M．．．長度
    L1、L2、L2’．．．直徑
    权利要求:
    Claims (6)
    [1] 一種有機發光二極體顯示器，其包含：一基板；一有機發光二極體，位於該基板上；一有機薄膜，配置以於具有一第一直徑之一有機薄膜沉積區域中，覆蓋位於該基板上之該有機發光二極體；以及一無機薄膜，配置以於具有一第二直徑之一無機薄膜沉積區域中，覆蓋位於該基板上之該有機薄膜，其中以微米為單位之L1為該有機薄膜沉積區域之該第一直徑，以微米為單位之L2為該無機薄膜沉積區域之該第二直徑，以微米為單位之D為該有機薄膜之一厚度，且(L2－L1)≧2(171D＋150微米)。
    [2] 如申請專利範圍第1項所述之有機發光二極體顯示器，其中200微米≦(L2－L1) ≦6000微米。
    [3] 一種製造有機發光二極體顯示器之方法，該方法包含：形成一有機發光二極體於一基板之一側邊上；形成一有機薄膜以於一有機薄膜沉積區域中覆蓋該基板之該側邊上的該有機發光二極體；以及形成一無機薄膜以於一無機薄膜沉積區域中覆蓋該基板上之該有機薄膜，其中以微米為單位之L1為該有機薄膜沉積區域之一直徑，以微米為單位之L2為該無機薄膜沉積區域之一直徑，以微米為單位之D為該有機薄膜之一厚度，且(L2－L1)≧2(171D＋150微米)。
    [4] 如申請專利範圍第3項所述之方法，其中200微米≦(L2－L1) ≦6000微米。
    [5] 如申請專利範圍第3項所述之方法，其中形成該有機薄膜包含：定位一第一遮罩，其具有對應於該有機發光二極體之一第一開口；以及透過該第一開口沈積該有機薄膜的一材料，其中形成該無機薄膜包含：定位一第二遮罩，其具有對應於該有機薄膜形成於該基板上之該有機薄膜沉積區域的一第二開口；以及透過該第二開口沈積該無機薄膜之一材料，其中該第一開口具有一台階，其中面對該基板之該第一遮罩之一背側上的一直徑大於相反於該背側之該第一遮罩之一表側上的一直徑，其中以微米為單位之L1’為位於該第一遮罩之該表側上之該第一開口的該直徑，其中以微米為單位之L2’為該第二開口之一直徑，其中以微米為單位之A為該台階之一高度，以及其中(L2’－L1’)≧2(1.5214×10-3A＋210微米)。
    [6] 如申請專利範圍第5項所述之方法，其中200微米≦(L2’－L1’) ≦6000微米。
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